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直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設(shè)備

簡要描述:直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設(shè)備
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

  • 產(chǎn)品型號:CR16B
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:289
詳情介紹

直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設(shè)備

直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設(shè)備

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

規(guī)格

型號CR16BCR30BCR60B-SCR60B-TCR300B
最大排氣速度m3/h163055300
L/min2805009205000
到達壓力 *1Pa≦3.0≦0.5
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力(排出圧力)大氣壓
電源 *2單相 : 100V, 200V 三相 : 200V單相:200V三相 : 200V三相 : 200V
電機額定功率kW0.721.53.0
吸氣口KF25KF40KF50
排氣口KF25KF40 
質(zhì)量kg3548100
符合規(guī)格CE、cTUVus
冷卻方式空冷
氣鎮(zhèn)機構(gòu) *3選配件
最大水蒸氣處理量 e *4g/h<300  <500
標準附件電源用連接器、信號用連接器、使用說明書、空氣過濾器、護套

※1 極限壓力是氣鎮(zhèn)閥內(nèi)沒有氣體時的值。
※2 請從上表中選擇使用電源的相位和電壓,訂購時注明。
※3 氣鎮(zhèn)用閥門為選裝件。
※4 使用氣鎮(zhèn)時候的最大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時請務(wù)必使用 氣鎮(zhèn)機構(gòu)。




機身選項

型號CR16BCR30BCR60BCR300B
氣鎮(zhèn)機構(gòu)針閥
電磁閥 + 針閥
橡膠腳墊




配件

型號CR16BCR30BCR60BCR300B
消音器RS-01+套件 D--
RS-01+套件 A---
RS-01+套件 C---
簡易型消音器 *1EFS-11-NW25/2/2516--
EFS-19-NW40/1 *2--
電源互換BOXVer.A→Ver.B

*1 由于是濾芯型消音器,因此需要更換維護。
*2 不能連接到管路上。(開放型)



尺寸圖

  • CR16B、CR30B、CR60B直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設(shè)備

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Dimension drawing

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