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原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

簡要描述:原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

  • 產(chǎn)品型號:LR421-T
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:206
詳情介紹

原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

規(guī)格

型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排氣速度
50Hz62 m3/h
(1030 L/min)
112 m3/h
(1860 L/min)
183 m3/h
(3100 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)
126 m3/h
(2100 L/min)
237 m3/h
(3950 L/min)
到達壓力5.0 Pa
最大排氣壓力 (吸入圧力) 大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排氣口KF40VG50
質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時6.9 A
(at 200V)
11.2 A
(at 200V)
18.9 A
(at 200V)
20.8 A
(at 200V)
最大值7.3 A
(at 200V)
11.8 A
(at 200V)
20.6 A
(at 200V)
48.5 A
(at 200V)
冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
二次壓力0.05~0.1 MPa
氮氣吹掃5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

*1 請訂購時 



型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)
LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵
LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
機械
增壓泵
PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)
PRC-036DPRC-036D
(D-T)
最大
排氣
速度
50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)
653 m3/h
(10,900
L/min)
1,012 m3/h
(16,900
L/min)
1,701 m3/h
(28,350
L/min)
3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)
701 m3/h
(11,700
L/min)
1,051 m3/h
(17,500
L/min)
1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到達壓力0.67 Pa
最大排氣壓力
(吸入圧力)
大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
(KF80)
VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排氣口KF40KF50
MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
電源
*2
三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時7.0 A
(at 200V)
12.3 A
(at 200V)
13.7 A
(at 200V)
21.4 A
(at 200V)
31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值9.6 A
(at 200V)
19.0 A
(at 200V)
24.2 A
(at 200V)
39.8 A
(at 200V)
58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水
一次壓力
0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水
出入口壓差
>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次
壓力
0.1~0.5 MPa
二次
壓力
0.05~0.1 MPa
N2
吹掃
5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進行MBP表面處理。
*2 請訂購時
 
*3 根據(jù)用途,使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報價。


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