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ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀

簡(jiǎn)要描述:ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):全新
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-27
  • 訪  問  量:368
詳情介紹

ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A  分光橢偏儀

ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A  分光橢偏儀

操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測(cè)燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測(cè)量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請(qǐng)):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長(zhǎng)。

壓力測(cè)量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測(cè)量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí))。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測(cè)量

用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量

用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備

具有映射功能的自動(dòng)平臺(tái)類型

UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用 的測(cè)量方式,實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括 的便攜式,自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動(dòng)R-θstage和自動(dòng)對(duì)焦功能,快速自動(dòng)測(cè)量整個(gè)樣品表面的膜厚,并通過彩色地圖顯示膜厚分布。

特點(diǎn)

  • 高速測(cè)定:
     的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。

  • 適用于可見光譜:
    波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。

  • 緊湊型傳感器單元:
    光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護(hù)。

  • 豐富的產(chǎn)品陣容:
    產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,包括如 的便攜類型,手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測(cè)量

規(guī)格

型號(hào)1500年2000年3000A
波長(zhǎng)范圍530~750nm、380~760nm(選擇)
點(diǎn)直徑Φ1mm、Φ0.3mm(選擇)
入射角度70o固定
膜厚再現(xiàn)性1σ = 0.1納米
膜厚范圍1納米~2微米
測(cè)量時(shí)間光接收:20ms至3000ms計(jì)算:300ms
平臺(tái)Φ150mm自動(dòng)Φ200mm自動(dòng)Φ300mm自動(dòng)
自動(dòng)測(cè)量200點(diǎn)200點(diǎn)2,000點(diǎn)
控制PC筆記本類型(帶操作/分析軟件)
機(jī)器構(gòu)成測(cè)量本體、控制器、操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD)


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