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ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀

簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

  • 產(chǎn)品型號:全新
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-27
  • 訪  問  量:297
詳情介紹

ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A  分光橢偏儀

ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A  分光橢偏儀

操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物(油類)的環(huán)境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

具有映射功能的自動平臺類型

UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用 的測量方式,實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括 的便攜式,自動式和對應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動R-θstage和自動對焦功能,快速自動測量整個樣品表面的膜厚,并通過彩色地圖顯示膜厚分布。

特點

  • 高速測定:
     的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。

  • 適用于可見光譜:
    波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。

  • 緊湊型傳感器單元:
    光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。

  • 豐富的產(chǎn)品陣容:
    產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,包括如 的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量

規(guī)格

型號1500年2000年3000A
波長范圍530~750nm、380~760nm(選擇)
點直徑Φ1mm、Φ0.3mm(選擇)
入射角度70o固定
膜厚再現(xiàn)性1σ = 0.1納米
膜厚范圍1納米~2微米
測量時間光接收:20ms至3000ms計算:300ms
平臺Φ150mm自動Φ200mm自動Φ300mm自動
自動測量200點200點2,000點
控制PC筆記本類型(帶操作/分析軟件)
機器構(gòu)成測量本體、控制器、操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD)


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