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ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

簡(jiǎn)要描述:ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):新產(chǎn)品
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-27
  • 訪  問(wèn)  量:381
詳情介紹

ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

操作性的提高:通過(guò)與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能:通過(guò)監(jiān)測(cè)燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測(cè)量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請(qǐng)):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長(zhǎng)。

壓力測(cè)量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測(cè)量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí))。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測(cè)量

用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量

用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備

水晶式成膜控制器

CRTM 系列

CRTM-6000G

愛發(fā)科

CRTM-6000G晶體振蕩式成膜控制器,具有優(yōu)異的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸結(jié)構(gòu),可以對(duì)應(yīng)低速率控制和最多99層的多層膜連續(xù)蒸發(fā)控制。

特點(diǎn)

  • 優(yōu)異的膜厚和成膜速率分辨率,在成膜速率低時(shí)也可以進(jìn)行控制

  • 125 ms的快速采樣率可以很好地控制

  • 可實(shí)現(xiàn)樓層膜厚控制,最高達(dá)到99層

  • 標(biāo)準(zhǔn)配有RS232C通信

  • 最多可連接2個(gè)單傳感器(可切換)

  • 配備最少數(shù)字輸入/輸出(各12ch)和模擬輸出(3ch)

目的

  • 蒸發(fā)時(shí)的膜厚及速率控制

規(guī)格

膜厚/速率分辨率0.041A(5兆赫)
0.029A(6兆赫)
膜厚顯示范圍/顯示分辨率/td>0.000~99.99μm(0.000~999.9k?)
沉積率顯示范圍/顯示分辨率0.01~99.99 nm/s(0.1~999.9 ?/s)
支持的傳感器頻率5兆赫、6兆赫
可連接的傳感器數(shù)量單傳感器:2個(gè)(不能同時(shí)測(cè)量,為開關(guān)型)
多傳感器:1個(gè)
采樣率125毫秒
支持多層膜層數(shù)99 層
沉積程序數(shù)量99
數(shù)字輸入/輸出輸入:12通道可編程
輸出:12通道可編程
模擬輸出3通道可編程
外形尺寸 寬×深×高240 毫米 x 350 毫米 x 99 毫米


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