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日本供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科 油擴散泵PFL系列

簡要描述:日本供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科 油擴散泵PFL系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

  • 產(chǎn)品型號:PFL-22
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:226
詳情介紹

日本供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科  油擴散泵PFL系列

日本供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科  油擴散泵PFL系列

使用 安裝組件可無需支架直接搭載

標配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

特點

安裝方向自由

安裝方向沒有限制,擴展了設(shè)備設(shè)計的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運行時以及泵停止時,碳氫化合物的回流很少。

用途

分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

用于使低溫泵運轉(zhuǎn)。將壓縮后的氦氣送出冷凍機,冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣,使之循環(huán)。

規(guī)格

型號PFL-22PFL-22TMPFL-36PFL-52
排氣速度10,000 L/sec10,000 L/sec34,000 L/sec70,000 L/sec
極限壓力 *13.0×10-4 Pa
臨界背壓16 Pa6.7 Pa16 Pa
工作開始時間40 min60 min60 min
液壓油ULVOIL D-11
油量5 L13 L27 L
水溫19~25℃
冷卻水進水口
(尺寸)
Rc 1/2×2Rc 1/2×2Rc 1/2×2Rc 1/2×4
Rc 3/8×2
冷卻水量12 L/min15 L/min38 L/min50 L/min
電壓規(guī)格200V / 3φ
電力需求8 kW10 kW開始操作時 22 kW開始操作時 45 kW
穩(wěn)定時 11 kW穩(wěn)定時 30 kW
加熱器種類盤繞加熱器盤繞加熱器盤繞加熱器盤繞加熱器
推薦輔助泵 *2PMB-040C+PKS-070PMB-040C+PKS-070PMB-060C+PKS-070 x 2個
(PMB1200D+PKS-030)(PMB1200D+PKS-070)PMB2400D+PKS-070
(PMB2400D+PKS-070)
外形尺寸 *3A480 mm480 mm725 mm1,000 mm
B630 mm630 mm1,022 mm2,000 mm
H1,330 mm1,330 mm1,732 mm2,845 mm
吸氣口VG550VG550VG90052英寸VG相當(dāng)
排氣口VG150VG200VG250VG350
重量290 Kg650 Kg1,400 Kg
油位計視口 View port視口 View port視口 View port
溫控器選項
恒溫器設(shè)定溫度180110110




水冷擋板 (用于PFL)

型號BW-22BW-36BW-52
電導(dǎo)14,000 L/sec54,000 L/sec75,000 L/sec
外形尺寸 *3Dφ680 mmφ1,065 mmφ1,480 mm
T101 mm113 mm165 mm
t26 mm28 mm35 mm
冷卻水進水口(尺寸)Rc 3/8Rc 3/8Rc 1/2
水容量3 L/min5 L/min5 L/min
重量28 kg66 kg200 kg

*1 當(dāng)冷卻水量為20℃時,極限壓力基于電離真空計。
*2 這里是根據(jù)擴散泵最大流量來選擇輔助泵的。
*3 通常情況下,考慮到粗抽時間,使用比這里所示的更大的機械增壓泵和油回轉(zhuǎn)真空泵也是合適的。



排氣速度曲線

  • PFL-22


 
  • PFL-36 , PFL-52


 




尺寸圖

 


PFL-22 , PFL-22TMPFL-36PFL52
A480 mm725 mm1000 mm
B630 mm1022 mm2000 mm
H1330 mm1732 mm2845 mm


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