進口ULVAC愛發(fā)科 DA-40S 維護方便隔膜型干泵 

進口ULVAC愛發(fā)科 DA-40S 維護方便隔膜型干泵 

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

當使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。

膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。

泵體結構采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。

根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。