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新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

簡要描述:新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產(chǎn)品型號:ES4A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:157
詳情介紹

新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

當使用干泵時可選配,用于降低排氣噪音。

特點

大氣壓附近的排氣速度高,可以縮短排氣時間。

ECO-SHOCK技術實現(xiàn)低功耗(C型號)

 極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低(LS120A-C)

配有專用的消音器

 極限壓力下的噪音水平為61 dB(A)或更低

無需先前所需要的軸封氣體

 ※L型可以使用稀釋氣體。

排氣速度120-1200 m3 / h級 ※可與機械增壓泵結合使用

 可以根據(jù)應用選擇最佳排氣能力的型號

得點

出色的消音效果

可以通過卡箍連接到泵的排氣口

規(guī)格

型式ES10ES4A
電源規(guī)格單相 AC100~220V 50/60Hz單相  AC200~220V±5% 50/60Hz
最大功耗65W *1400W
控制輸入遠程啟動/停止(接點 DC24V有電圧) 接點容量2.0A以上請準備無電源接點 *2
輸出過電流報警輸出(接點 無電圧) 接點容量:DC24V 1.0A啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報
顯示運作時間顯示運作時間、啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報
外觀尺寸本體單元175mm×310mm×240mm250mmx475mmx373mm
閥單元Φ66mm×110mm(NW40) *3選項
質(zhì)量本體單元:8.3kg 閥單元:800g32kg
質(zhì)量G1/4" (INLET、OUTLET) 已安裝連接器Φ16mm管接頭( 推薦管的長度為1.5m以內(nèi))

*1 干泵的使用工藝氣體、吹掃氣體 0Pam3/s*2 手動啟動/停止時可以通過跳轉(zhuǎn)控制連接器的PIN,來ON/OFF電路保護器。*3 ES10標配一個閥單元



效果例

ES4A

弊社泵型號LR1800LR3601-R
排氣速度*1羅茨泵1784m3/hr(29700L/min)3200m3/hr(53333L/min)
干泵237m3/hr(3950L/min)440m3/hr(7333L/min)
平均功耗*2,3極限壓力運作時沒有6.0kW7.8kW
ES4A安裝時2.7kW3.2kW
消減率55%59%
反復排氣時 *4沒有7.2kW9.6kW
ES4A安裝時5.7kW6.3kW
消減率21%34%

*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復排氣60秒節(jié)拍的測量示例。


ES10

型號名稱LR60LR90LR180
排氣速度*11300L/min2100L/min3980L/min
實測功耗*22.1kW3.6kW6.6kW
ECO-SHOCK安裝后的實測功耗*2 *3 *40.7kW1.0kW1.6kW
電力消減率67%72%76%

*1 電源頻率60Hz
*2 功耗為極限壓力時的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封氣體、吹掃氣體流量0Pa?m3/s時。取決于密封氣體、吹掃氣體流量



尺寸圖

新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

閥門單元 尺寸圖

  • ES4A NW40新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

  • ES4A NW50新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

  • ES10

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