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新款ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 MS1200A

簡要描述:新款ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 MS1200A
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):LS120A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-10
  • 訪  問  量:238
詳情介紹

新款ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 MS1200A

新款ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 MS1200A

特點(diǎn)

通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

型式(C:C式樣)
(L:L式樣)
LS120ALS300ALS600ALS1200A
CLCLCLCL
最大排氣速度m3/h1203806001000
到達(dá)壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V級(jí):3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級(jí):3相、50/60Hz、AC380-480V
消費(fèi)電力
概略值 *1
kW0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷卻水量L/min>2.0>4.0
Purge gas 量 *2SLM0~500~500~500~50
最大水蒸氣
處理量 *3
kg/h1.51.51.51.5
噪音值*1dB(A)61616264
吸氣口KF50(水平)/
VG50(垂直)
ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40KF40KF40KF40
質(zhì)量kg142220242266
適用規(guī)格CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品電源用連接器、防水電纜夾、信號(hào)用連接器、電源連接保護(hù)器
本體選配件電源電壓:200V級(jí)或400V級(jí)、密封部材質(zhì):全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號(hào))、
Gas purge

*1:到達(dá)壓力時(shí)
*2:C式樣不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用時(shí)的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對(duì)應(yīng)無漏


排氣速度曲線

  • LS120A
    新款ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 MS1200A

  • LS300A
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  • LS600A
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  • LS1200A
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