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從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程（T98）
尺寸緊湊，
產(chǎn)品型號：OPGU-7100廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-07訪 問 量：298日本HORIBA堀場 便攜式氫氣發(fā)生器
日本HORIBA堀場 便攜式氫氣發(fā)生器
在整個流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應(yīng)
級別，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結(jié)構(gòu)，盡管其尺寸最小，但仍實現(xiàn)了高靈敏度。
低真空（高壓）操作
當(dāng)測量總壓力高達(dá) 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。
用戶可更換的傳感器
校準(zhǔn)過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換，無需拆卸設(shè)備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。
這是質(zhì)量流量計專用的監(jiān)控單元。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
規(guī)格
流量報警輸出功能 外部輸出：集電極開路
流量信號輸出：0~5VDC
流量顯示輸出功能
輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）
適用標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn)：符合 CE 標(biāo)志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性：符合 RoHS 指令
兼容數(shù)字/模擬通信模型
顯示單元
這是一個以數(shù)字方式顯示流量和壓力信號（0 至 5VDC）的裝置。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
| 產(chǎn)生氣體 | H 2 99.999%以上（露點-65℃） |
|---|---|
| 生成流量 | 100mL/min（25℃ 1013hPa） |
| 產(chǎn)生壓力 | 20~400kPa（可變） |
| 工作溫度 | 5~40℃ |
| 純凈水箱 | 2升 |
| 使用純凈水 | 離子交換水（0.1-0.2μS/cm） |
純凈水消耗量 | 約 5.5mL/h（以 100mL/min 生成時） |
| 電源 | 交流100V 50/60Hz 100VA |
| 氫氣出口 | 本體 Rc1/8" 內(nèi)螺紋管件 φ3" |
| 重量 | 10kg（不含水） |
| 產(chǎn)生氣體 | H 2 99.999%以上（露點-65℃） |
|---|---|
| 生成流量 | 225mL/min（25℃ 1013hPa） |
| 產(chǎn)生壓力 | 20~400kPa（可變） |
| 工作溫度 | 5~40℃ |
| 純凈水箱 | 2升 |
| 使用純凈水 | 離子交換水（0.1-0.2μS/cm） |
純凈水消耗量 | 約 5.5mL/h（以 100mL/min 生成時） |
| 電源 | 交流100V 50/60Hz 100VA |
| 氫氣出口 | 本體 Rc1/8" 內(nèi)螺紋管件 φ3" |
| 重量 | 11公斤（不含水） |
| 產(chǎn)生氣體 | H 2 99.99%以上（不包括水） |
|---|---|
| 生成流量 | 100mL/min（25℃ 1013hPa） |
| 產(chǎn)生壓力 | 20~400kPa（可變） |
| 工作溫度 | 5~40℃ |
| 純凈水箱 | 2升 |
| 使用純凈水 | 離子交換水（0.1-0.2μS/cm） |
純凈水消耗量 | 約 5.5mL/h（以 100mL/min 生成時） |
| 電源 | 交流100V 50/60Hz 100VA |
| 氫氣出口 | 本體 Rc1/8" 內(nèi)螺紋管件 φ3" |
| 重量 | 10kg（不含水） |
| 產(chǎn)生氣體 | H 2 99.99%以上（不包括水） |
|---|---|
| 生成流量 | 225mL/min(25℃1013hPa) |
| 產(chǎn)生壓力 | 20~400kPa（可變） |
| 工作溫度 | 5~40℃ |
| 純凈水箱 | 2升 |
| 使用純凈水 | 離子交換水（0.1-0.2μS/cm） |
純凈水消耗量 | 約 5.5mL/h（以 100mL/min 生成時） |
| 電源 | 交流100V 50/60Hz 200VA |
| 氫氣出口 | 本體 Rc1/8" 內(nèi)螺紋管件 φ3" |
| 重量 | 11公斤（不含水） |
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