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原廠HORIBA堀場 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

簡要描述:原廠HORIBA堀場 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
±1.0% SP(設(shè)定點(diǎn))
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,
面間距106mm(50SLM以下,1/4VCR型),兼容1.125英寸燃?xì)饷姘濉?/br>采用超潔凈兼容
氣體接觸部分,全不銹鋼結(jié)構(gòu),標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)部拋光處理。

  • 產(chǎn)品型號:SEC-N112MGM
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪  問  量:336
詳情介紹

原廠HORIBA堀場 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

原廠HORIBA堀場 通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號,配備多范圍/多氣體功能,允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實(shí)現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM~500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進(jìn)工藝,而且適用于各種制造工藝。

多量程/多氣體兼容。

氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量,有助于降低成本。

從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制

保證高精度

±1.0% SP(設(shè)定點(diǎn))

1秒內(nèi)高速響應(yīng)

全量程(T98)

尺寸緊湊,

可選擇的通信方式

陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動電源    產(chǎn)品型號

數(shù)字通訊


?RS-485 F-Net協(xié)議


模擬通訊


?0~5VDC


±15VDC(±5%) *    SEC-N102系列

DeviceNetTM通訊    ODVA標(biāo)準(zhǔn)    SEC-N104系列

CC-Link® 通訊


模擬通訊


?0~5VDC 0~10VDC


?4~20mA


24VDC(13 ~ 32VDC)    SEC-N105系列

現(xiàn)場總線通訊


模擬通訊


?0~5VDC 0~10VDC


?4~20mA


現(xiàn)場總線標(biāo)準(zhǔn)


24VDC(13~32VDC)


SEC-N106系列

 

EtherCAT®通信    

EtherCAT標(biāo)準(zhǔn)


24VDC+/-4V


SEC-N107系列

可滾動的

 


寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM 

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行。


高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能,

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。可選擇的通信方式

陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動電源    產(chǎn)品型號

數(shù)字通訊


?RS-485 F-Net協(xié)議


模擬通訊


?0~5VDC


±15VDC(±5%) *    SEC-N102系列

DeviceNetTM通訊    ODVA標(biāo)準(zhǔn)    SEC-N104系列

CC-Link® 通訊

模擬通訊

?0~5VDC 0~10VDC

?4~20mA

24VDC(13 ~ 32VDC)    SEC-N105系列

場總線通訊

模擬通訊

?0~5VDC 0~10VDC

?4~20mA

現(xiàn)場總線標(biāo)準(zhǔn)

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106系列

EtherCAT®通信    

EtherCAT標(biāo)準(zhǔn)

24VDC+/-4V

SEC-N107系列

可滾動的

寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM 

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行

高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能,

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。


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