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全新 BROOKS 簡化流量控制儀器 SLA5850

簡要描述:全新 BROOKS 簡化流量控制儀器 SLA5850
長期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小
高精準(zhǔn)度
額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm
高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
可配置的多氣體/多范圍功能

  • 產(chǎn)品型號:SLA-5850
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-07-17
  • 訪  問  量:251
詳情介紹

全新 BROOKS 簡化流量控制儀器 SLA5850 

全新 BROOKS 簡化流量控制儀器 SLA5850 

長期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小

高精準(zhǔn)度

額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm

高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)

可配置的多氣體/多范圍功能

易于訪問的獨(dú)立診斷/服務(wù)端口

廣泛的通信選項(xiàng),包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模擬接口

模塊化設(shè)計,方便工廠或現(xiàn)場維護(hù)

傳感器的長期穩(wěn)定性消除了維護(hù)或定期重新校準(zhǔn)的需要,從而降低了總擁有成本

Brooks Instrument 專有的熱傳感器技術(shù)可提高信噪比并提高低設(shè)定點(diǎn)下的流量精度

通過一個設(shè)備平臺兼容各種氣體范圍/流量范圍

最多可以編程和保存 6 種校準(zhǔn)類型。通過一臺設(shè)備即可在不同氣體和范圍之間切換,從而減少庫存

用戶可以輕松訪問服務(wù)端口,并簡化安裝、故障排除和診斷任務(wù),而無需中斷流量控制器操作

耐用的金屬頂蓋可防止安裝過程中損壞

多協(xié)議通信接口簡化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成

通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測量和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)高精度

化學(xué)和石化催化劑研究和中試工藝

實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

燃料電池技術(shù)

生命科學(xué)生物反應(yīng)器

流量范圍(滿量程容量)
.003 - 2500 英里/分鐘
準(zhǔn)確性

17025 認(rèn)證設(shè)備(包括線性度,不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測量不確定度,根據(jù) SEMI E69)

±0.6% SP (20-100% FS)

±0.12% 滿量程 (<20% 滿量程)

1100 slpm 至 2500 slpm:±0.6% FS


標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備(包括參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性

±0.9% SP (20-100% FS)

±0.18% 滿量程 (2-20% 滿量程)

1100 slpm 至 2500 slpm:滿量程的 ±1.0%

再現(xiàn)性

0.20% SP

線性度

包含在準(zhǔn)確度中

響應(yīng)時間

0.003 - 100 slpm:<1 秒

100 - 2500 slpm:<3 秒

多氣體多范圍

標(biāo)準(zhǔn)

最大壓力

.003-200 slpm:1500 psi/103 巴

100 - 2500 slpm:1000 psi/70 巴

最大 50 slpm 設(shè)備上可選 4500 psi/310 bar

控制范圍

1-50 slpm:FS 調(diào)節(jié)比為 100:1

50-2500 lpm:FS 調(diào)節(jié)比為 50:1

零穩(wěn)定性

每年 < 0.2%FS

溫度系數(shù)

零:每o C < FS 的 0.05%

量程:每o C < SP 的 0.1%

壓力系數(shù)

0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )

態(tài)度敏感性

重新調(diào)零后與規(guī)定精度的最大偏差<0.2% FS




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